FSI国际推出ORION单晶圆清洗系统可扩展至450mm晶圆生产隔膜阀
时间：2022-10-11 12:23:11 来源：领新机械网 浏览量：0
据半导体科技网站报道，FSI国际有限公司日前于上海举办的“FSI知识服务系列研讨会”上，宣布推出全新的ORION单晶圆清洗系统。该系统特有的闭室设计可实现对晶圆环境的完全控制和维护，满足32nm和22nm技术的关键步骤上多项清洗需要。其中包括减少在超浅层注入后的光刻胶去除的材料损失，避免在高介电系数金属栅和与包含包覆层金属连接的铜的电偶腐蚀和材料损失。FSI产品管理兼市场副总裁Sctt Becker博士表示,FSI注重产品创新，每年在研发上投入超过20%的营业收入，此次推出的单晶圆清洗系统专门针对先进工艺技术的清洗需求，可以支持6种以上的化学品，清洗周期短，生产控制能力强，并有效控制空气对生产的影响。他预测，未来单晶圆湿法处理技术的增长会超过批处理清洗技术，该公司还为450mm晶圆生产做好了准备工作，一旦行业内开始启动，FSI将能很轻易的转入到450mm生产中。欢迎转载，信息来源（）
包皮阴茎头炎是怎么引起的白癜风黑色素移植多大可以做
齐齐哈尔做包皮手术医院哪家好
产伤会导致癫痫发作吗
-
巴厘岛度假酒店的客户体验熟化设备复合肥料切割片ADSL脉冲仪Oe
巴厘岛度假酒店的客户体验老秦夜译CTI论坛()7月20日消息（编译/老秦）:我很高兴能在巴厘岛的Club Med Bali Resort有几天的家庭生活，做回我自己，做我想做...[详细]
2023-09-10
-
最火2018年1月IT面板价格风向标熟化设备复合肥料切割片ADSL脉冲仪Xv
2018年1月IT面板价格风向标需求方面： 一季度是传统淡季，Monitor 面板需求较弱，并且2月份需求已经提前至12月份采购。供应方面： 面板厂淡季将调整产...[详细]
2023-07-26
-
最火沈阳绿色蔬菜竟是普通菜包装而成熟化设备复合肥料切割片ADSL脉冲仪Xv
沈阳:绿色蔬菜竟是普通菜包装而成在沈阳许多大超市里，一种叫“嘉禾”牌的蔬菜两年多来一直占据着显眼的位置，这蔬菜看上去既干净又新鲜，包装上...[详细]
2023-07-12
-
瑞泰信息助力中国企业出海应对数据合规性挑熟化设备复合肥料切割片ADSL脉冲仪x
瑞泰信息助力中国企业出海应对数据合规性挑战随着 一带一路 战略引领作用凸显，国内众多企业纷纷出海，更多中国企业进入全球领先行列。2020年9月T...[详细]
2022-11-09
-
最火光伏发电不可持续性成最大弊病熟化设备复合肥料切割片ADSL脉冲仪z
光伏发电不可持续性成最大弊病橡胶机全球可再生能源发电技术的发展历程证明，风电和光伏发电的不可持续性、难调度性已成为最大的弊病。南非斯泰...[详细]
2022-10-03
-
阿威罗大学MikhailZheludke熟化设备复合肥料切割片ADSL脉冲仪z
阿威罗大学Mikhail Zheludkevich教授讲智能纳米容器的多层保护【视频】Multi-level protection by smart nanocontainersMUST is the育儿嫂 abbreviation for “Mult-Level Protection of...[详细]
2022-09-22